무수소 아르곤 회수 장치

아르곤 회수 장치는 아르곤 함량이 높은 산업용 테일 가스에서 아르곤을 추출하여 순도 99.999%의 아르곤을 생성하고 백업 시스템에 들어가거나 고객이 재활용합니다.

아르곤 회수 장치는 낮은 생산 비용, 높은 아르곤 회수율, 대량 생산 및 재활용 가능성의 특성을 가지고 있습니다.

A지원 분야

태양 전지(단결정 실리콘/다결정 실리콘 웨이퍼 생산용 보호 가스)

스테인리스 제련(제련용 보호가스)

장점

낮은 생산 비용

다량의 추출

높은 추출율

산업용 배기가스 재활용

주요 데이터

생산: 아르곤 중 산소 최대 1ppm, 아르곤 중 질소 최대 1ppm

대표적인 모델

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